人體造成的汙染
皮膚:人類每4天皮膚碎屑完全脫落一次(完全換膚)
人類釋放10,000個皮膚碎屑/分鍾(平均大小30*60*3µm)
毛發:人類經常連續脫落直徑為50-100µm的毛發睫毛、眉毛、發膠、凝膠體。
唾沫滴液:含有鈉、酶、鹽、鉀、氯化物和食物微粒。
外用衣物:微粒、纖維、矽石、纖維素、各種化學品、**。
化妝品:不應在潔淨室使用可產生大量的微粒,**被化妝品汙染的衣服既困難,費用也很高。
人類靜止、坐下或站立:產生1,000,000≥0.3µm的微粒/分鍾。
人類的頭和身體運動時:產生1,000,000≥0.3µm的微粒/分鍾。
人類以0.9英裏/小時(0.4m/s)的速度行走:產生5,000,000≥0.3µm的微粒/分鍾。
潔淨室
潔淨室,亦稱為無塵室或清淨室,是指空氣傳播微粒受到控製且具有一個或一個以上清潔區的房間。
空氣潔淨室:已經建造完成並可以投入使用的潔淨室(設施)。它具備所有有關的服務和功能。但是,在設施內沒有操作人員操作的設備。
靜態潔淨室:各種功能完備、設定安裝妥當,可以按照設定使用或正在使用的潔淨室(設施),但是設施內沒有操作人員。
動態潔淨室:處於正常使用的潔淨室,服務功能完善,有設備和人員;如果需要,可從事正常的工作。
潔淨室等級:世界各國均有自定規格,但普遍還是用美國聯邦標準209為多,以下就209D及209E和世界上其它各國製定標準作介紹和比較。
209E與209D的濟大不同在於209E表示單位增加了公製單位,潔淨室等級以M字頭表示,如M1,M1.5,M2.5,M3…以此類推,配合國際公製單位之標準化,M字母後之阿拉伯數字是以每立方公尺≥0.5µm之微塵粒子數字以10的冪次方表示,取指數為之,若微塵離子數介於前後二者完全冪次方之間,則以1.5、2.5、3.5….表示。
美國聯邦標準FS 209D都以英製每立方英尺為單位,日本則采用公製,即每立方公尺為單位,以0.1µm微塵粒子為計數標準。日本標準之表示方法以表示,濟好的等級為,濟差的為,以每立方公尺中微塵粒子總數中化為10的冪次方,取其指數而得。
潔淨室控管之項目:
1. 能除去空氣中飄遊之微塵粒子
2. 能防止微塵粒子之產生
3. 溫度和適度之控製
4. 壓力之調節
5. 有害氣體之排除
6. 結構物與隔間之氣密性
7. 靜電之防製
8. 電磁幹擾預防
9. 可靠因素之考慮
10. 節能之考量
潔淨室之分類
潔淨室之構成
1. 天花板係統:包括吊杆、綱梁、天花板格子梁
2. 空調係統:包括空氣艙、過濾器係統、風車等
3. 隔牆板:包括窗戶、門
4. 地板:包括高架地板或防靜電地板
5. 照明器具:包括日光燈、黃色燈管等
6. 潔淨室之建築主體構造,一般是鋼筋或骨水泥,但無論是何種構造,必須滿足如下之條件:
A、不會因溫度變化與振動而發生裂痕
B、不易產生微塵粒子,且很難附著粒子
C、吸濕性小
D、 為了維持室內之濕度條件,拒絕緣性要高