很多潔淨室用戶不允許出現靜電。磁盤驅動器製造商正在努力把潔淨室內與靜電有關的問題降到零,半導體製造商、平板顯示器製造商、醫療電子產品製造商和製藥廠商都緊隨其後。本節將介紹靜電放電係列知識之二——局部電離的平衡。
對許多潔淨室來說,通用室內離子發生器隻是完整的電離係統的一部分。Heymann說:“潔淨室運營商過去常常會說如果有一台離子發生器的話,一切與ESD有關的問題都迎刃而解了,但是事實恰恰相反。與ESD技術有關的問題是隻是簡單地安裝上離子發生器,並不能保證它能夠持續工作**、一星期,甚至一個月。”
現在,靈敏度閥值更低,這迫使潔淨室運營商加入通用室內電離係統,這些係統能夠把空氣的電壓從1,000伏降到100伏。在工藝設備內部和周圍關鍵區域加入額外的離子發生器,能夠把空氣的電壓降至10伏以下。工作站離子發生器,包括條型離子發生器、吹風機和壓縮氣體釋放設備就是適合在這些規定的工作區域中使用。無論離子發生器是安裝在操作麵的上方,還是直接安裝在操作麵上,這個把它與對靜電放電非常敏感的產品分開的距離遠遠小於與室內係統的距離,一般不到1米。
對要求非常嚴格的環境來說,電離吹風機可用來取代脈衝式直流係統,但是,這種係統的電壓來回擺動,不能調整到零伏。可是問題在於,盡管吹風機可以消除靜電,但是,它會幹擾潔淨環境內的其他的元件。Steinman說:“吹風機會產生空氣紊流,還會成為汙染源。草莓视频18在线需要在汙染控製和ESD控製之間協調,保證達到要求的水平。”
為了避免吹風機的不利作用,IonSystems公司采用了單晶矽材料生產的發射器點,按照Steinman的說法,它幾乎可以達到“ISO1類標準”。