自從潔淨室的靜電放電（ESD）問題被提出後，微電子產品生產行業和生物醫藥製造行業，ESD標準和控製受到廣泛的關注。
背景
潔淨室是一個超級潔淨的環境，它不但要控製通風、過濾、溫度、濕度、氣壓以及離子化等，還要同時對環境內的材料和其他參數進行控製。潔淨室的潔淨度決定於空氣中的懸浮微粒數量，微粒的首要計量單位是微米，即10-6米，大致相當於0.000039英寸。
潔淨室級別劃分濟為通行使用的方法來自ISO14644標準。該標準以每立方米空氣中0.1微米的微粒來劃分潔淨室級別，它取代了過去的美國國家標準209-1992（詳見表1），而後者是以每立方英尺空氣中0.5微米的微粒數來劃分潔淨級別的。按照這兩個標準規定，209標準中的100級潔淨室中每立方英尺空氣中大於等於的0.5微粒數不能超過100個，此級別相當於ISO14644標準中的5級潔淨室。後者的含義是每立方米空氣中大於等於0.5微米的微粒數不超過3520個。
控製靜電荷產生在潔淨室是非常必要的。靜電可能影響生產，也可能使自動化設備受到電磁幹擾而失靈，靜電產生的靜電引力（ESA）還會減少表麵的粒子粘附數量。靜電荷與產品和工具表麵汙染密切相關，這一點讓ESA越來越受到重視。例如，一個4英寸的晶片帶1000V的靜電後，對一個直徑1微米的粒子的靜電引力強度高達830000磅力/平方英寸。可以看出，帶電體的靜電引力要比重力、氣流力和粘著力相比要高得多。
廣泛使用的絕緣材料，如玻璃、特氟綸（聚四氟乙烯）和高分子聚合物會產生高電位的靜電。解決此問題首先考慮工作站接地，如使用不鏽鋼工作台台麵取代使用靜電耗散材料的工作台麵。但從可靠的角度和靜電敏感器件的防護角度看，這樣做是有害的。
潔淨室的劃分見表2。美國法律規定，209E標準可以為國際新的標準所取代，因此它將逐步為ISO14644所淘汰。
ISO8級
ISO8級的潔淨室是每立方米大於等於0.5微米的微粒數量少於3,520,000個，相當於FedStd. 209E的100000級。
10000級（ISO8級）對於抗靜電材料中銨基抗靜電劑和炭粉的使用沒有特別的限製。真空吸塑容器、普通服裝、足跟接地式鞋是可以經常看見在此級別的潔淨室出現。100000級潔淨室算不上嚴格控製的潔淨環境，防塵麵罩和手套沒有配備的要求。進入ISO8級潔淨室的物品沒有進行潔淨和袋裝處理的要求。
ISO 7級(Fed Std.10,000級)
ISO7級的潔淨室是每立方米大於等於0.5微米的微粒數量少於352,000個，相當於FedStd.209E的10000級。此級別的潔淨室不要求佩戴口罩，但要求穿著抗靜電的淨化服、靴和頭套，並佩戴橡膠手套，允許使用抗靜電產品和混炭粉材料。Extensiveuse of ionization is concentrated in specificareas.特別區域需要使用離子風機應當予以集中。車間內足跟接地帶和靴可以接受，同樣耦合潔淨室用品也可以接受。抗靜電聚乙烯泡沫有時也在抗靜電周轉容器中一同使用。 ISO6級 (FedStd. 1,000級)
ISO6級的潔淨室是每立方米大於等於0.5微米的微粒數量少於35,200個，相當於FedStd. 209E的1,000級。
此級別的潔淨室必須身著帶有防靜電靴的潔淨服，防靜電靴有接地結構或通過足跟、輔助接地帶實現接地。車間需要時可以使用靜電耗散材料的套服。除非經過粒子計數器、除氣和化學兼容性等係列測試，填炭的材料的物品不可以在此級別的潔淨室中使用。進入此級別的潔淨室的物品必須先在同級別的潔淨室中進行清洗，並使用雙層包裝。必須配戴手套、口罩。服裝使用一次，必須經過清洗才能再次進入ISO6級潔淨室。新的或經過清洗後的服裝在進入更衣室前，必須用袋子封裝。經過測試不會產生汙染的抗靜電用品方能夠使用。可以使用離子靜電消除器減少粒子吸附，和減少ESD損傷。
ISO 5 級(FedStd. 100級)
ISO5級的潔淨室是每立方米大於等於0.5微米的微粒數量少於3,520個，相當於FedStd. 209E的100級。
ISO5級潔淨室中，建議使用廣泛使用離子靜電消除器消除靜電；潔淨室中人員須穿戴無塵服，無塵服覆蓋其身體、頭部、麵部、手和眼睛。在工作站和生產場地，所有添置的離子設備能夠被觀察到。在潔淨室內盡可能不使用可能產生汙染的混炭物質和含有銨基的抗靜電劑。由於具有不依賴吸濕和非極性溶劑中清洗不喪失防靜電特性的優點，固有導電性的聚合物在潔淨室中廣泛使用。物品必須先進行清洗，並使用雙層包裝，通過風淋室進入ISO5級潔淨室。手套覆蓋手臂，無裸露皮膚。使用氨基抗靜電劑的材料中的氨基物可能汙染器件表麵，除非不含有此類抗靜電劑，否則限製使用乙烯基的抗靜電台墊。不能夠使用非淨化的普通紙張和筆。廠家需要設有一名或多名專職淨化控製工程師，處理ESD問題和淨化問題。體積過大不能用雙層包裝袋包裝的設備必須使用70%非極性清潔劑擦拭或用去離子水清洗後才能進入潔淨室。
ISO 4 級(FedStd. 10級)
ISO4級的潔淨室是每立方米大於等於0.5微米的微粒數量少於352個，相當於Fed Std.209E的10級。在ISO 4級潔淨室中必須穿戴帶有空氣微循環裝置的邦尼服（無塵服）。所有工作站和生產製造中心的工作標準中必須配置離子化設備內容。廠家必須配備多名專職淨化控製和ESD控製工程師。物料必須經過70%非極性清洗劑或去離子水清洗後才可進入工作場地。ISO 5級的操作要求在ISO 4 級中也必須執行。. ISO 4級中的用品的ESD要求和無汙染要求更加嚴格。
ISO 3級(FedStd. 1級)
ISO3級的潔淨室是每立方米大於等於0.5微米的微粒數量少於35個，相當於Fed Std.209E的1級。
人員不直接在ISO3級的潔淨室工作。在ISO3級的潔淨室中使用低粒子產生的特殊離子化設備或放射型等新型離子化設備消除靜電。新型的離子化設備主要解決ESA問題，它不能產生汙染，並且配備實時粒子計數器監測設備運行狀況。
標準的離子化設備由於電極變化在這個濟高淨化級別的環境中會造成汙染。α粒子或X射線式的離子化設備經過嚴格的質量審核後方可使用。一般設備容易產生微粒，因此須注意減少或消除這些可能的汙染源。如果有靜電場的問題話，廠家必須配備一名或多名專職淨化控製工程師和一名ESD控製工程師。
物料必須經過70%非極性清洗劑或蒸餾水清洗後才可進入工作場地。采購部門在製定采購訂單時必須保證供應商在淨化和ESD方麵與自己的產品保持一致。
ESD和ESA控製工具
潔淨室的分級以及ESD和ESA問題，不但是淨化控製的問題，更重要的是靜電相關的問題。ESD控製的測量濟早用於國防、電子組裝線、半導體、晶片生產和硬盤驅動製造等行業。在ESA控製領域，光纖、醫藥、晶片製造和硬盤驅動公司都已逐步建立了潔淨室ESA控製體係。在這些行業無論是靜電還是ESD（靜電放電）的控製室都是至關重要的。雖然，取決於敏感組件和磁頭的靜電敏感程度，ESD受到廣泛的關注，但是在晶片製造行業，由於淨化控製的成為首要問題，ESA比ESD得到更多的重視。
不斷進步的ESD標準和擁有靜電控製技術的ESD/ESA測量儀器提供了測量材料、設備、人體和其他ESD、ESA場的工具。
潔淨室中ESD控製的測量
草莓视频18在线現在討論在ESD標準中和工業評估ESD控製物品實際操作。以下是常見的物品和材料：
1. 地板
2. 工作站
3. 傳輸工具
4. 貨架
5. 樹脂玻璃或聚碳酸酯光柵Plexiglas or PolycarbonateEnclosures
6. 貨車
7. 椅子
8. 工衣
9. 離子靜電消除器
10. ESD監控儀
11. ESD 材料：
1) 塑料袋
2) 真空托盤
3) 手套
4) 真空泵
5) 靜電屏蔽袋
7) 膠片
8) 真空吸管
9) 晶片盒
