微汙染控製 潔淨室潔淨程度的維持和控製，除了硬件設備配合投資外，也需要良好的軟件--

管理製度來配合，方能維持良好的潔淨度。半導體潔淨室內的微汙染來源，經測試分析結果，作

業人員占約80％，如圖8-1所示。實驗數據顯示，作業人員進出潔淨室時塵埃有顯著的增加，有人

動作時，潔淨度馬上劣化，可見潔淨度劣化之原因，人是主要因素。

　　潔淨室運轉管理 潔淨室運轉管理，可依作業人員、原物料、設備及潔淨室內所用東西等加以

探討，並依計劃（Planning）、實施（Doing）、追蹤（Checking）、動作（Action）之PDCA循環

步驟執行。

（一）． 作業人員之管理 前已提及在潔淨室內汙染來源80％來自作業人員，因此若能使
作業人員依潔淨室管理辦法確實執行管理，而所有人員也均能配合實施，則汙染源的產生可說已
減少大半。現就進入潔淨室的作業人員管理和注意說明如下：

（1）進入潔淨室之人員，必須要具備有達成高潔淨度標準，並要維持濟好狀態的觀念。

（2）作業人員進入潔淨室數目以維持濟小限度為原則（愈小愈好），並須依潔淨室進出標準流程進出潔淨室。出則相反方向進行，唯不須經空氣洗塵室脫塵處理。