[Clean
ROOM]潔淨室,亦名無塵室或清淨室,目前已是半導體工業和生物化學、醫藥、食品界等不可或缺之重要設施。近幾年來,由於技術之創(新發展,對於產品的高精密度化、細小型化之需求更為迫切,如超大型積體電路(VLSI,Very
Large Scale Integrated
Circuit)之研究製造,已成為世界各國在科技發展上極為重視之項目,我國亦不例外。然積體電路與精密軸承(Bearing)、太空航空儀器、光學機械等之精密機械產業,對於空氣中之浮遊粒子、粉塵等之汙染極為敏感,且對於產品之品質、可靠性及良率高低有著極大之影響。由於以上之產品必須在良好之潔淨室內進行生產製造,故工業用之潔淨室在各種產業上已被廣泛采用。另一方麵在醫學上及醫療技術方麵,對於手術室,新生兒室、重症加護病房(Intensive
Care Unit, ICU)、燒的病房及冠狀動脈加護病房,(Coronary Care
Unit,CCU)等場所所為達成高度醫療效果,亦需有去除空氣中浮遊無菌之無菌環境,以維人員生命可靠。其次在製藥工作、食品製造業及醫療儀器製造業、生化及細J培養等為提高產品品質及可靠衛生,以去除空氣中浮遊微生物與外界異物之幹擾侵犯之無菌潔淨室亦應運而生。針對積體電路(半導體行業)而言,潔淨室重要之作用在於控製產品(如夕晶片等)所接軸之大氣的潔淨度及溫濕度,使產品能在一個良好之環境空間中生產、製造,此空間草莓视频18在线稱之為[潔淨室}。換言之,潔淨室之定義為將一定空間範圍內之空氣中的微塵粒子、有害空氣、細J等之汙染物排除,並將室內之溫濕度、潔淨度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動及照明、靜電控製在某一需求範圍內,而所給於特別設計之房間。亦即是不論為在之空氣條件如何變化,其室內均能具有維持原先所設定要求之潔淨度、溫濕度及壓力等性能之特性。從另一角度看,潔淨室之立方英尺內之空氣所含有大或等於0.5um(10-6M)之灰塵粒子不超過1顆;潔淨室10級則為不超過10顆,潔淨室100級,1000級......依此類推。草莓视频18在线可以一簡式表示之即Class1:≦1pc/ft3(@≧0.5um),Class10:≦10pcs/ft3(@≧0.5um)......。
由以上之定義,草莓视频18在线可知構成潔淨室須具備以下之各項因素:
1.能除去空氣中漂遊之微塵粒子。
2.能防止微塵粒子之產生。
3.溫度和濕度之控製。
4.壓力之調節。
5.有害氣體之排除。
6.結構物與隔間之氣密性。
7.靜電之防製。
8.電磁幹擾之預防。
9.可靠因素之考慮。
10.節能之考量。
|